• 行業應用

    退火深度的控制

    發布時間:

    2022-09-30 11:23

    用激光位移傳感器CD5測量Si硅襯底并控制退火深度。

    如果是鏡面反射式的CD5-L25,則可以以0.02µm的重復精度進行測量,可以精確控制退火深度。

     

    型號:CD5-L25

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