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金屬框架的翹曲測量
發布時間：
2022-12-12 16:33
用激光位移傳感器CD5-W500測量真空室中半導體金屬框架的翹曲。
D5-W500的測量范圍為500±200 mm，可以長距離測量翹曲。另外，使用控制單元的UQ1-01，可以與三菱電機制造的MELSEC-Q系列直接連接，可以在短時間內進行多臺傳感器的運算設定。
型號：CD5-W500
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